1. 加熱系統(tǒng)

加熱方式：

控溫元件：

2. 送風(fēng)系統(tǒng)

層流設(shè)計：垂直單向流（Downflow）確保潔凈度，風(fēng)速0.3~0.5 m/s。

風(fēng)量調(diào)節(jié)：變頻風(fēng)機(jī)按工藝階段調(diào)整風(fēng)量（如升溫階段高風(fēng)量，保溫階段低風(fēng)量）。

3. 腔體與載具

材質(zhì)：不銹鋼316L或鋁合金（表面陽極氧化），耐化學(xué)腐蝕。

載具類型：

4. 控制系統(tǒng)

多段程序控溫：支持10~20段溫度曲線（如前烘：90℃/60s → 110℃/120s）。

數(shù)據(jù)追溯：記錄溫度、氧含量、壓力等參數(shù)，符合SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)。